Deformierbarer Spiegel gleicht Fehler aus
Thermisch-piezoelektrisch deformierbarer Spiegel für den Einsatz in Hochleistungslasersystemen.
© Fraunhofer IOF
www.fraunhofer.deDeformable mirror corrects errors
Thermic-piezoelectric deformable mirror to be used in high power laser systems.
© Fraunhofer IOF
www.fraunhofer.deAktorik – Ultraschallantriebe :
Entwicklung und Untersuchung piezoelektrisch erregter Lineardirektantriebe nach dem Wanderwellen- bzw. Bimodenprinzip.
Einsatz der Finiten Elemente Methode zur Berechnung des Motors und dessen dynamischen Verhaltens.
www.uni-stuttgart.deUltrasonic drives :
Investigation and development of ultrasonic linear drives.
Simulation and optimiziation with FE-methods.
www.uni-stuttgart.deDas Mikroskop nutzt das Objektrasterverfahren.
Dazu wird das Objekt mit einem piezoelektrisch angetriebenen Doppelparallelfeder-Tisch senkrecht zu den Strukturkanten verschoben.
Die Objektverschiebung wird mit einem Laserinterferometer und zusätzlich mit einem kapazitiven Wegsensor gemessen.
www.ptb.deThe microscope uses the so-called object scanning procedure.
Here, the object is scanned with a double-parallel spring table which is driven by piezoelectric elements.
Object displacement is measured with a laser interferometer and, in addition, with a capacitive displacement sensor.
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